基于当前多晶及单晶硅生产系统中排出的NOx、HF、HCl、烧碱雾及其他惰性气体，气体成分复杂、强腐蚀性，有毒气体，对大气的污染严重。该系统尾气组分复杂，且尾气的排放状态不稳定性、爆发性、突发性、强腐蚀性、尾气的浓度变化大、连续性操作。目前市场上通常采用工艺装置及方法，都比较单一，无法达到处理的目的；纯净水吸收工艺方法，采用纯净水进行洗涤吸收，能吸收部分氟化氢、氯化氢、但氮氧化物、烧碱物无法去除，吸附工艺，采用活性碳及吸附剂进行吸附处理，吸收一些氟化氢、氯化氢、烧碱物，氮氧化物和惰性气体不能去除。要解决此工艺尾气必须采用综合的工艺手段，做到尾气吸收、氮氧化物及其他气体完全去除的目的。
